Специалистами AIXTRON в сотрудничестве с Semileds впервые были получены сверхяркие голубые светодиоды (UHB LED) на основе структур GaN, выращенных на на 6-ти дюймовых сапфировых подложках. Не только сами результаты выглядят обнадеживающе, но и тот факт, что весь процесс производства светодиодов может впоследствии быть успешно применен на подложках большего размера.
Процесс производства светодиодов из 6-ти дюймовых пластин основан на МОС-гидридной эпитаксии и серии последующих шагов производства конечных устройств, включая финальную проверку. В частности, стуктуры для LED наносились на сапфировые подложки толщиной 1000мкм и диаметром 6 дюймов в MOCVD-реакторе AIX 2800G4 с конфигурацией 6x6.
Обсуждение новости тут
12.01.2010
